@niftyトップ

辞書、事典、用語解説などを検索できる無料サービスです。

フォトリソグラフィー

デジタル大辞泉

フォトリソグラフィー(photolithography)
《「フォトリトグラフィー」とも》半導体集積回路などの製造工程で、シリコンのウエハー上にフォトレジストという感光材料布し、レチクルフォトマスク)とよばれる回路のパターンの原板を重ねて光を照射し、エッチングなどで刻み込む技術。光リソグラフィーリソグラフィー

出典:小学館
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
編集協力:田中牧郎、曽根脩
(C)Shogakukan Inc.
それぞれの用語は執筆時点での最新のもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

フォトリソグラフィー
photo lithography
集積回路 IC液晶ディスプレイなどの製造において,光を用いて微細な加工を施す技術。IC製造の場合では,ガラス・マスクを通して光を照射し,感光性樹脂を塗布した半導体ウェア上に微細な ICパターンを写する(→エッチング)。大規模集積回路 LSI微細化を進めるうえで欠かせない技術とされる。光学系の技術改善や,感光性樹脂の転写精度の向上などにより解像度が向上し,今日ではナノメートルnm。10億分の1m)単位の精度で半導体素子の加工が可能となっている。

出典:ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
Copyright (c) 2014 Britannica Japan Co., Ltd. All rights reserved.
それぞれの記述は執筆時点でのもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。

フォトリソグラフィー」の用語解説はコトバンクが提供しています。

フォトリソグラフィーの関連情報

他サービスで検索

(C)The Asahi Shimbun Company /VOYAGE MARKETING, Inc. All rights reserved.
No reproduction or republication without written permission.

アット・ニフティトップページへ アット・ニフティ会員に登録

ウェブサイトの利用について | 個人情報保護ポリシー
©NIFTY Corporation