●プレーナー技術【プレーナーギジュツ】
デジタル大辞泉
プレーナー‐ぎじゅつ【プレーナー技術】
《planar technology》シリコン基板上に半導体集積回路を作製する技術。シリコン基板の上面を酸化させて、シリコン酸化膜で覆い、次にフォトリソグラフィーにより決められた位置の酸化膜を除去し、この位置に不純物拡散を行うといったプロセスを繰り返して集積回路を作り上げていく。
出典：小学館
監修：松村明
編集委員：池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
編集協力：田中牧郎、曽根脩
(C)Shogakukan Inc.
それぞれの用語は執筆時点での最新のもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。
「プレーナー技術」の用語解説はコトバンクが提供しています。
●プレーナー技術の関連情報
関連キーワード
｜ X線CT・MRI｜ 6x86MX｜ 情報科学技術協会(米国)｜ OverDrive Readyソケット｜ AT｜ 技術｜ プレーナ型トランジスタ｜ プレーナートランジスター｜ ICT｜ Fire Phone｜
