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リソグラフィー

デジタル大辞泉

リソグラフィー(lithography)
《「リトグラフィー」とも》
石版印刷。また、その技術。
フォトリソグラフィー」の略。

出典:小学館
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
編集協力:田中牧郎、曽根脩
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化学辞典 第2版

リソグラフィー
リソグラフィー
lithography

トランジスターのパターンや配線などをつくるために使われる写真技術の応用.薄膜上に光や電子ビームにより架橋反応や結合が切れたりして,分子量が変化する有機物質を形成する.これは写真では感光に相当する.そして,必要なパターンに応じて有機物質に光や電子ビームを照射する.その後,分子量が変化したため,溶媒中で不要な部分が溶解した有機膜のパターンができる.これが写真の現像に相当する.これをマスクにして薄膜をエッチング除去してパターンを形成する.感光に用いた光により名称が異なり,紫外線の場合をとくにフォトリソグラフィーという.感光のための光の波長により加工できる最小寸法が決まるので,短波長の光源開発が重要となる.波長の短い電子線では,それ自体のオン・オフでパターンを任意に形成できるというメリットがあるが,パターンの描画に時間がかかるという問題がある.X線を用いた場合には,X線を透過しないマスク材料の開発が問題となっている.【半導体素子の発達以前は,リソグラフィーとは石版印刷や平版印刷のことであった.

出典:森北出版「化学辞典(第2版)」
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精選版 日本国語大辞典

リソグラフィー
〘名〙 (lithography) =リトグラフィー

出典:精選版 日本国語大辞典
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