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半導体露光装置【ハンドウタイロコウソウチ】

デジタル大辞泉

はんどうたい‐ろこうそうち〔ハンダウタイロクワウサウチ〕【半導体露光装置】
シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置

出典:小学館
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
編集協力:田中牧郎、曽根脩
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