●薄膜集積回路【はくまくしゅうせきかいろ】
ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
薄膜集積回路
はくまくしゅうせきかいろ
thin film integrated circuit
ガラスや磁器の絶縁物基板上に，金属や抵抗体などを薄い膜状につけて，抵抗，コンデンサ，コイル，結線などの回路要素を構成し，全体としてある機能をもった回路にまとめあげたもの。膜厚が 0.01μm～数μmのものを薄膜集積回路，数μm～50μmのものを厚膜集積回路と呼んで区別することもある。トランジスタなどはこの方法ではつくりにくいので，別につくられたものを薄膜集積回路と組合せ，混成集積回路とする。
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世界大百科事典 第２版
はくまくしゅうせきかいろ【薄膜集積回路】
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デジタル大辞泉
はくまく‐しゅうせきかいろ〔‐シフセキクワイロ〕【薄膜集積回路】
《thin film IC》⇒薄膜IC
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