●薄膜【ハクマク】

うすい膜。うすまく。「薄膜トランジスター」⇔厚膜。
[補説]多く、生物の器官などを覆うものは「うすまく」、蒸着などにより作られる化学的なものは「はくまく」と読む。

⇒はくまく（薄膜）

〈うすまく〉ともいい，コーティングcoating，あるいは単に膜などとも呼ぶ。類語として，foil,layerがあるが，現在は，前者には箔，後者には層という訳語がつけられている。広義には，日常感覚で薄いと考えられる物体すべての総称であり，したがって，シャボン玉，水の上に広がった灯油，包装用プラスチック，アルミ箔なども薄膜と称されることもあるが，学術用語としては，以下に述べるようにやや限定された使い方がなされる。

透過型電子顕微鏡の試料となる1 nm から0.1 μm の厚さの試料をいう．それ以上は厚膜とよぶ研究者もいるが，100 μm でも薄膜とよぶこともあり，厳密に定義されているわけではない．ただし，1 mm 以上は膜ではなくバルク(かたまり)である．電子機器の軽量化に伴い，薄膜電極，薄膜半導体などの開発が進み，薄膜という用語が従来の金属はくや人工膜にかわって用いられるようになった．生体膜に関連深いLB膜も薄膜の一種である．薄膜を気相から作製するには真空装置を必要とし，目的とする薄膜構造によって真空度も違ってくる．真空蒸着法(10^－4 Pa，島状構造)，スパッタリング法(0.1～10 Pa，多結晶化)，化学蒸着法(0.1～1 Pa，単結晶化)などがある．有機化合物の薄膜をつくるには，上述のほかに，プラズマ重合法や分子線エピタキシー法などがある．また，液相から作製する方法には，上述のLB法や酸化膜をつくるための陽極酸化法などがあり，従来からの溶液塗布や電気めっきなどとともに，それぞれの特徴が利用されている．