●薄膜【ハクマク】
デジタル大辞泉
はく‐まく【薄膜】
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うす‐まく【薄膜】
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世界大百科事典 第2版
はくまく【薄膜 thin film】
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うすまく【薄膜】
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精選版 日本国語大辞典
はく‐まく【薄膜】
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化学辞典 第2版
薄膜
ハクマク
thin film
透過型電子顕微鏡の試料となる1 nm から0.1 μm の厚さの試料をいう.それ以上は厚膜とよぶ研究者もいるが,100 μm でも薄膜とよぶこともあり,厳密に定義されているわけではない.ただし,1 mm 以上は膜ではなくバルク(かたまり)である.電子機器の軽量化に伴い,薄膜電極,薄膜半導体などの開発が進み,薄膜という用語が従来の金属はくや人工膜にかわって用いられるようになった.生体膜に関連深いLB膜も薄膜の一種である.薄膜を気相から作製するには真空装置を必要とし,目的とする薄膜構造によって真空度も違ってくる.真空蒸着法(10-4 Pa,島状構造),スパッタリング法(0.1~10 Pa,多結晶化),化学蒸着法(0.1~1 Pa,単結晶化)などがある.有機化合物の薄膜をつくるには,上述のほかに,プラズマ重合法や分子線エピタキシー法などがある.また,液相から作製する方法には,上述のLB法や酸化膜をつくるための陽極酸化法などがあり,従来からの溶液塗布や電気めっきなどとともに,それぞれの特徴が利用されている.
出典:森北出版「化学辞典(第2版)」
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