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超純水【ちょうじゅんすい】

大辞林 第三版

ちょうじゅんすい【超純水】
純水から、さらに不純物を除いた水。通常、抵抗率が 18MΩ・cm 程度のもの。

出典:三省堂
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朝日新聞掲載「キーワード」

超純水
有機物や微粒子気体などを取り除いた、極めて純度の高いのこと。半導体や医療関連の製品の製造工程での洗浄など、用途幅広い
(2008-04-11 朝日新聞 朝刊 石川全県 2地方)

出典:朝日新聞掲載「キーワード」

デジタル大辞泉

ちょう‐じゅんすい〔テウ‐〕【超純水】
純水から有機物シリカウイルスなどの不純物をできるかぎり除去した水。一般に水温25度で抵抗率が18Mオーム以上の水を指す。医療分野のほか、LSI液晶ディスプレー半導体素子の洗浄など、幅広く利用される。

出典:小学館
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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

超純水
ちょうじゅんすい
ultrapure water
技術的な極限まで不純物を取り除いた純水。工業的には,原子力発電所蒸気発生器の給水,医薬品の製造,半導体の洗浄などに用いられる。原水の蒸留逆浸透膜による処理,イオン交換紫外線殺菌(→紫外線),限外ろ過など多数の工程を経て製造される。大規模集積回路 LSIなどの半導体製造において使用される超純水では,超純水の抵抗率,含まれる微粒子の粒径と数,生菌の数,有機物量,二酸化ケイ素(シリカ)や溶存酸素の量などの水質基準が定められ,不純物除去の技術開発が進められている。

出典:ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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